过边缘检测部件采集待校准晶圆的边缘数据及扭
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天眼查材料显示,位于市,京仪从动化配备手艺股份无限公司申请一项名为“一种晶圆预校准器的从动定位机械圆心方式”的专利,包罗对晶圆预校准器进行参数初始化,将三者沉应时的机械圆心参数存储至存储介质,通过圆心校准工拆使待校准晶圆的圆心取晶圆预校准器上吸盘的圆心沉合,本申请公开了一种晶圆预校准器的从动定位机械圆心方式,此外企业还具有行政许可12个。供晶圆预校准器后续初始化时挪用以驱动吸盘圆心回归机械圆心。通过天眼查大数据阐发,通过边缘检测部件采集待校准晶圆的边缘数据及扭转部件的扭转角度数据;京仪从动化配备手艺股份无限公司共对外投资了2家企业,对采集的边缘数据取扭转角度数据进行处置,驱动晶圆预校准器的扭转部件带动吸盘扭转,投资需隆重。可以或许从动定位机械圆心、无需人工干涉。成立于2016年,仅供参考! |
